为何台积电难过ldquo水rdqu

1、为何台积电难过“水”关？

2、全面扭亏为盈！国际化、专业化管理转型为长电科技打了个“翻身仗”

3、索尼、三星动作频频恐加剧全球CIS市场竞争

4、英特尔CEO：希望欧盟提供亿元补贴投建芯片工厂

5、数码论：那些中国智能手机市场的霸主今何在？

6、每日精选

副处长回应送外卖走红；ofo小黄车创始人戴威被限制消费

1、为何台积电难过“水”关？

集微网报道，晶圆制造企业不仅是电力“黑洞”，同时也是用水怪兽。

近段时间以来，中国台湾地区缺水危机日益严峻，也影响到用水大户台积电，甚至不少人开始担心旷日持久的缺芯问题。那么，晶圆制造过程中水的角色到底有多重要？具体到台积电，用水量又是如何？台积电缺水会对世界有哪些影响？本文我们将对此逐一分析。

“用水怪兽”，晶圆厂名副其实

半导体产业是名副其实的“水老虎”，在制造过程中需要依赖大量的水源，尤其是半导体制程需要使用超纯水（Ultrapurewater），而制作超纯水的过程要使用几倍的自来水，用水量相当惊人。

超纯水（UPW）是被净化到高规格水平的水，其干净程度大约是自来水的倍。其标准是，水中仅含有H20，以及适度数量的H+和OH-离子。其电阻率为18.2MΩ.cm、TOC10ppb、细菌数10CFU/ml。这种水平的纯度使其成为实验室工作的完美试剂，最常用于半导体和制药行业。

为何晶圆生产要用到如此纯净的水？美国半导体工业协会（SIA）环境健康与安全主管TomDiamond解释道：“加工晶圆有很多步骤，其中一个常见的步骤称为‘chemmech’，是化学机械抛光的缩写。化学部分是细砂浆，机械部分是抛光垫。表面抛光后，需要用超纯水将浆液洗掉。这些电路非常小，在某些情况下只有32纳米宽，并且尽可能紧密地塞在一起。用饮用水清洗时，水蒸发后会看到斑点，这些斑点来自溶解在水中的矿物质。这些矿物质分子可能会使数百个电路短路，这就是水必须如此纯净的原因。”

此外，产生超纯水所需的处理过程取决于水源的质量和制造过程的要求。“所需的超纯水量取决于许多因素，比如毫米晶圆的用水量少于毫米晶圆；与逻辑芯片相比，存储芯片所需的层数更少，而层数越多，所需的水就越多。”Diamond继续分析。行业统计数据表明，在mm晶圆上创建集成电路总共需要大约2加仑的水，其中就有加仑是超纯水。

正如Diamond所言，半导体制造过程中都需要用水反复清洗芯片基底，蚀刻图案，抛光层和冲洗组件。其主要原因就在于涉及到晶圆制程的良率问题，而且一旦没处理好甚至可能让整座晶圆厂停摆。

台积电

转载请注明：http://www.xibuniuzaiku.com/ylfl/10519.html